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伯思达热干蚀刻技术再生磊芯片,降低AlN、AlGaN、GaN磊芯片报废率, 提升成本效率

面对LED终端市场对于产品要求逐渐严苛,国内优良代理商伯威科技,负责人陈威智在LED业界十五年经验,累积国内外深厚人脉,洞烛先机于2014年与韩国企业TS Drychemical合资成立伯思达光电,引进独特热干蚀刻技术,为各大磊晶厂处理磊晶报废片,将GaN / AlGaN / AlN层完全去除,还原成图案化蓝宝石基板(PSS),在此艰困产业环境中,提供各磊晶厂最有效的降低成本方式,势必在下一阶段掀起另一波的产业革命!
 
热干蚀技术介绍:透过热干蚀技术处理后的PSS产品和新买的PSS,质量规格相当,伯思达光电于 2015年通过晶电集团等各大磊晶厂认证通过成为合格供货商,定期处理各客户厂内的报废磊芯片。
热干蚀再生技术质量
  1. 干蚀刻与物理性研磨再生法不同,主要是将磊芯片上的GaN与AlN去除,因此Wafer 的厚度不会减少,PSS仍可正常使用为最大的优点
  2. 代工服务种类:1. 报废磊芯片再生 (可提供2吋、4吋、6吋服务)  2. 各MOCVD设备上石英原件清洗 3. 各MOCVD设备上石墨盘(SIC)等零部件清洗。
  3. 磊芯片(GaN、AlGaN、AlN)再生的种类:还原成各式蓝宝石基板(DPSS/ WPSS/ NPSS/Plane等),相对于市场价格,具有相当优良的竞争优势。
目前伯思达可以处理的产能(CAPA)、每月2吋TIE产能约计180,000片,若换算为4吋产能,约计28,000片。
目前磊芯片回收(Wafer Recycle) 事业逐渐成熟,鉴于韩厂TS-Drychemical已稳定在韩国如三星及LG等大厂定期作MOCVD机台上的石英及石墨盘零部件作清洗服务,伯思达下一步将提供服务为台湾及中国市场上的磊晶厂作零部件回收清洗。
  1. 石英部件清洗,传统采用湿蚀刻及喷砂清洗,然而清洗后的质量会对原耗材造成伤害并降低了使用寿命。伯思达采用热干蚀技术,维持石英部件的质量,对母材的伤害最少,进而延长了耗材的使用寿命。

同样的石墨盘(SiC)清洗,仍采用热干蚀技术,对于SiC镀膜与断面,证实不会对包膜产生损伤,对母材的伤害最小延长了耗材的使用寿命。

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